大型箱体气体纯化系统

大型环境空间专用,具备优秀的自动化控制能力和高效的气体除氧除水净化系统,为您提供高清清洁度的制作环境,适用于3D打印,OLED等制造环境

产品特点

  • 威格专利无泄漏密封

    · 最低泄露率可达0.001vol%h

  • 露点低于-75℃

    · 适用于显示、锂电、合成、3D打印等生产线以及核领域的环境设备

  • 密封箱体,大小可定制,从10立方到1000立方米
  • 洁净等级可选

    · Class100,Class10 ISO3 ISO2

  • 模块化设计

    · 安全可靠的自动化控制能力

    · 适用于显示、锂电、合成、3D打印等生产线以及核领域的环境设备

产品规格

技术参数

  • 指标

    H2O<1PPM;O2<1PPM

  • 控制系统

    由西门子的PLC和7"彩色触摸屏组成

  • 再生

    自动再生程序

  • 箱体压力控制

    自动压力控制,脚踏开关辅助手动控制 (压力调整范围:± 10mbar)

  • 再生气体

    N2/Ar/He/ +H2 混合气 (H2 浓度:5-10 %)

  • 真空泵

    油泵,速率可达: 12m3/h

  • 工作气体

    氮气、氩气、氦气

  • 管路

    不锈钢

  • 运行机理

    闭路循环

  • 主控阀门

    电磁气动阀/电气动控制

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