大型环境空间专用,具备优秀的自动化控制能力和高效的气体除氧除水净化系统,为您提供高清清洁度的制作环境,适用于3D打印,OLED等制造环境
· 最低泄露率可达0.001vol%h
· 适用于显示、锂电、合成、3D打印等生产线以及核领域的环境设备
· Class100,Class10 ISO3 ISO2
· 安全可靠的自动化控制能力
· 适用于显示、锂电、合成、3D打印等生产线以及核领域的环境设备
指标
H2O<1PPM;O2<1PPM
控制系统
由西门子的PLC和7"彩色触摸屏组成
再生
自动再生程序
箱体压力控制
自动压力控制,脚踏开关辅助手动控制 (压力调整范围:± 10mbar)
再生气体
N2/Ar/He/ +H2 混合气 (H2 浓度:5-10 %)
真空泵
油泵,速率可达: 12m3/h
工作气体
氮气、氩气、氦气
管路
不锈钢
运行机理
闭路循环
主控阀门
电磁气动阀/电气动控制